特許
J-GLOBAL ID:200903005260037630

脆性材料の固定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小池 晃 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-269371
公開番号(公開出願番号):特開平8-130271
出願日: 1994年11月02日
公開日(公表日): 1996年05月21日
要約:
【要約】【構成】 脆性材料から成る部材1の基板2側の主面5上に形成された、弾性材料から成る膜4と、基板2上に形成された支柱3とを超音波により接合して、上記部材1と基板2とを固定する。【効果】 脆性材料から成る部材に割れを生じることなく、部材と基板との位置合わせを高精度、かつ容易に行うことができる。
請求項1:
脆性材料から成る一方の部材と上記部材を実装する他方の部材とを固定する際に、上記一方の部材の表面に可撓性を有する膜を設け、また、上記他方の部材上に可撓性を有する支柱を設けて、上記膜と上記支柱とを接合して上記2つの部材を超音波により固定することを特徴とする脆性材料の固定方法。
IPC (2件):
H01L 23/04 ,  H01S 3/109

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