特許
J-GLOBAL ID:200903005262277469

キャリアおよび保護シート付トレーならびにトレー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 秋田 収喜
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-002560
公開番号(公開出願番号):特開平10-194376
出願日: 1997年01月10日
公開日(公表日): 1998年07月28日
要約:
【要約】【課題】 半導体チップ搬送用のキャリアにおいて、トレー間やトレーとカバー間に挟み込む保護シートの位置ずれを防止する。【解決手段】 上面に被収容物(半導体チップ)を収容する窪んだ収容窪を有する板状のトレーと、前記トレーの上面に重ねられ前記収容窪内の被収容物を保護する保護シートと、前記トレーの上面に重ねられるカバーと、前記保護シート付きトレーを所定枚数重ね合わせかつ最上層トレー上に前記カバーを重ねたものを一体的に固定する着脱自在の固定具とを有し、前記トレーは相互に嵌合して重なる構成となるキャリアであって、前記トレーには前記保護シートの位置ずれを防止する位置ずれ防止部が設けられている。
請求項(抜粋):
上面に被収容物を収容する窪んだ収容窪を有する板状のトレーと、前記トレーの上面に重ねられ前記収容窪内の被収容物を保護する保護シートと、前記トレーの上面に重ねられるカバーと、前記保護シート付きトレーを所定枚数重ね合わせかつ最上層トレー上に前記カバーを重ねたものを一体的に固定する着脱自在の固定具とを有するキャリアであって、前記トレーには前記保護シートの位置ずれを防止する位置ずれ防止部が設けられていることを特徴とするキャリア。
IPC (2件):
B65D 85/86 ,  H01L 21/68
FI (2件):
B65D 85/38 Q ,  H01L 21/68 U

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