特許
J-GLOBAL ID:200903005263696473

加速度センサ、応力センサ及びこれらの製作方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 村上 博 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-353112
公開番号(公開出願番号):特開平7-198744
出願日: 1993年12月28日
公開日(公表日): 1995年08月01日
要約:
【要約】【目的】 加速度センサを安価に精度よく製作することを目的とする。【構成】 基板22上に加速度を検知するエレメント21を装着し、これらを電気的に接続し、この基板22をハウジング27に固定する。その後、ハウジング27を所定の角度に保ちレーザ光24を用いてトリミング抵抗23をトリミングすることにより加速度センサ28の特性を調整するものである。
請求項(抜粋):
加速度を検知するエレメントと、このエレメントからの信号を補正する基板と、トリミング抵抗と、被取付部に取付けられる部分を有し前記エレメント、基板、トリミングが配設された状態で前記トリミング抵抗をトリミング可能とされたハウジングとを有してなることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件):
G01P 15/12 ,  H01L 29/84
引用特許:
審査官引用 (3件)

前のページに戻る