特許

J-GLOBAL ID：200903005265654573

光偏向器

発明者： 八木 隆行 ,  中山 優 ,  島田 康弘 ,  高松 修 ,  平井 裕 ,  能瀬 博康 ,  新庄 克彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-246679
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060993
出願日： 1991年08月31日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】 1つの光偏向部を2軸廻りに偏向可能とする。【構成】 回転軸の重心位置が同一になるように設けられた反射板28及び内枠25は、それぞれ可撓梁26、27及び可撓梁23、24によって支持され、これらの反射板28、内枠25は下方に設けられた固定電極31、32の一方、又は固定電極33、34の一方に電圧を印加すると、静電気力を受けて可撓梁23、24、26、27を軸として回転する。

請求項（抜粋）：

2つの回転軸を有する複数の可動部の各回転軸の重心位置を同一とし、前記回転軸上に前記可動部を回転支持するための2組の可撓梁をそれぞれ設け、前記可動部の下面に空隙を介して対向する複数の固定電極を設け、これら固定電極に電圧を印加して前記可撓梁を軸として前記可動部を回転し、前記可動部の一部を反射面として光偏向を行うことを特徴とする光偏向器。

IPC (3件)：

G02B 26/10 101 ,  H01L 21/302 ,  H04N 7/22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-140316
  
• 特開昭60-107017
  
• 特開平4-211217