エキシマレ-ザ装置のガス補給方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-327832
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183593
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】ガス補給を多く重ねていってもガスの最適組成バランスが崩れにくく、またガス補給時点やガス補給量を的確に決定し得るとともに、レーザを長期間停止させた場合も安定なレーザ出力を得ることができ、さらにガス交換時期やメンテナンス時期を自動的にかつ適格にオペレータに報知し得るようにする。【構成】この発明では、レーザチャンバ内にハロゲンガス、希ガス、バッファガスを注入するエキシマレーザ装置において、レーザ発振前、発振停止時間を算出し、該算出した発振停止時間が所定時間を超えていると、該算出した発振停止時間に基づいて希ガスまたはバッファガスの混合ガスの注入量を算出し、該算出した注入量だけ前記混合ガスをレーザ発振前に注入するようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

レーザチャンバ内にハロゲンガス、希ガス、バッファガスを注入してレーザ発振を行うエキシマレーザ装置において、レーザ発振前、発振停止時間を算出し、該算出した発振停止時間が所定時間を超えていると、該算出した発振停止時間に基づいて希ガス及びバッファガスの混合ガスの注入量を算出し、該算出した注入量だけ前記混合ガスをレーザ発振前に注入するようにしたことを特徴とするエキシマレーザ装置のガス補給方法。

IPC (2件)：

H01S 3/036 , H01S 3/225

FI (2件)：

H01S 3/03 J , H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平1-191490
特開平3-135089
特開平3-194991

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