特許

J-GLOBAL ID：200903005276011399

マイクロ波導入装置及びプラズマ処理装置

発明者： 吉識 隆裕 ,  小町 恭一 ,  飯尾 浩一
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 宮川 貞二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-276467
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091097
出願日： 1998年09月11日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 マイクロ波導延室の中空部で金属板から異常放電を発生させず、金属板に分散板としての効果を十分に発揮させ、均一なプラズマを伝播し導入することができるマイクロ波導入装置を提供する。【解決手段】 マイクロ波供給手段から供給されたマイクロ波を伝送する導波管3と;導波管に接続されマイクロ波を伝送する誘電体線路4と;誘電体線路に対向して配置され、伝送されたマイクロ波を導入するマイクロ波導入窓5とを備え;マイクロ波導入窓は、誘電体を含んで形成された第1の部材と;誘電体を含んで形成された第2の部材と;第1の部材と第2の部材との間に挟まれた導電体シートとを有することを特徴とする;マイクロ波導入装置とする。導電体シートの厚さが0.5mm以下であることを特徴とするとよい。また、第1の部材は、マイクロ波導入側に位置し、第1の部材の厚さが5mm以下であることを特徴とするとよい。

請求項（抜粋）：

マイクロ波供給手段から供給されたマイクロ波を伝送する導波管と;前記導波管に接続されマイクロ波を伝送する誘電体線路と;前記誘電体線路に対向して配置され、伝送されたマイクロ波を導入するマイクロ波導入窓とを備え;前記マイクロ波導入窓は、誘電体を含んで形成された第1の部材と;誘電体を含んで形成された第2の部材と;前記第1の部材と第2の部材との間に挟まれた導電体シートとを有することを特徴とする;マイクロ波導入装置。

IPC (5件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/511 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

H05H 1/46 B ,  C23C 16/50 E ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

Fターム (24件)：

4K030DA04 ,  4K030FA02 ,  4K057DA11 ,  4K057DA16 ,  4K057DA20 ,  4K057DD01 ,  4K057DE08 ,  4K057DE20 ,  4K057DM29 ,  4K057DM40 ,  4K057DN01 ,  4K057WM17 ,  5F004AA01 ,  5F004AA16 ,  5F004BA03 ,  5F004BB14 ,  5F004BD01 ,  5F004BD03 ,  5F004DA01 ,  5F004DA26 ,  5F045BB01 ,  5F045DP02 ,  5F045EB02 ,  5F045EJ09