特許
J-GLOBAL ID：200903005276871053
電子-電子-イオンコインシデンス分光器、電子-電子-イオンコインシデンス分光法、電子-電子コインシデンス分光法及び電子-イオンコインシデンス分光法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
杉村 興作
, 徳永 博
, 藤谷 史朗
, 来間 清志
, 冨田 和幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-161509
公開番号（公開出願番号）：特開2006-339002
出願日： 2005年06月01日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】 簡易かつ廉価に、電子-電子-イオンコインシデンス分光、電子-電子コインシデンス分光及び電子-イオンコインシデンス分光を高効率で測定し得る新規な電子-電子-イオンコインシデンス分光器と、電子-電子-イオンコインシデンス分光法、電子-電子コインシデンス分光法及び電子-イオンコインシデンス分光法とを提供する。【解決手段】 同軸対称形状外電極22、同軸対称形状内電極21、ピンホール23、電子検出器24及び補助電飾25を含む同軸対称鏡電子エネルギー分析器20内に、円筒形状外電極32、円筒形状内電極31、ピンホール33及び電子検出器34を含む円筒鏡電子エネルギー分析器30を配置し、円筒鏡電子エネルギー分析器30内に、イオン加速電極41、イオンドリフト電極42及びイオン検出器43を含む飛行時間型イオン質量分析器40を配置して、電子-電子-イオンコインシデンス分光器10を構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
同軸対称形状外電極と、この同軸対称形状外電極の内側に中心軸を合わせて配置された同軸対称形状内電極と、前記同軸対称形状外電極及び前記同軸対称形状内電極の後方において、これら電極の中心軸上に配置されたピンホール及び電子検出器とを含む同軸対称鏡電子エネルギー分析器と、
前記同軸対称鏡電子エネルギー分析器の前記同軸対称形状内電極内に配置された円筒形状外電極と、前記円筒形状外電極の内側に中心軸を合わせて配置された円筒形状内電極と、前記円筒形状外電極及び前記円筒形状内電極の後方において、これら電極の中心軸上に配置されたピンホール及び電子検出器とを含む円筒鏡電子エネルギー分析器と、
前記円筒鏡電子エネルギー分析器の前記円筒形状内電極内に配置されたイオン加速電極と、前記イオン加速電極の後方の中心軸上に配置されたイオンドリフト電極と、前記イオンドリフト電極の後方の中心軸上に配置されたイオン検出器とを含む飛行時間型イオン質量分析器と、
を具えることを特徴とする、電子-電子-イオンコインシデンス分光器。
IPC (5件)：
H01J 49/44
, G01N 23/227
, G01N 27/62
, G01N 27/64
, H01J 49/40
H01J49/44
, G01N23/227
, G01N27/62 K
, G01N27/64 A
, H01J49/40
2G001AA01
, 2G001AA03
, 2G001AA05
, 2G001BA07
, 2G001CA03
, 2G001CA05
, 2G001EA02
, 2G041CA01
, 2G041DA12
, 2G041GA06
, 2G041HA05
, 5C038KK08
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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引用文献：
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