基板回転装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：米田潤三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267997
公開番号（公開出願番号）：特開平10-085652
出願日： 1996年09月18日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【課題】基板の裏面の洗浄を簡便かつ確実に行うことができる基板回転装置を提供する。【解決手段】チャック台は駆動部により回転可能とし、このチャック台を、基板を保持するための上平板と、この上平板の下面中央に接続されたシャフト部とを有するものとし、上平板の上面部に吸引孔を設け、上平板の周縁部に少なくとも1つのノズル支持部材を突設し、このノズル支持部材に洗浄液噴射ノズルを備えることにより基板回転装置とする。

請求項１：

基板を保持するための上平板と該上平板の下面中央に接続されたシャフト部とを有する回転可能なチャック台と、該チャック台を回転させる駆動部とを備え、前記チャック台は上平板の上面部に吸引孔を備え、かつ、上平板の周縁部には少なくとも1つのノズル支持部材が突設され、該ノズル支持部材には洗浄液噴射ノズルが備えられていることを特徴とする基板回転装置。

IPC (3件)：

B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , G03F 7/30 502

FI (3件)：

B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , G03F 7/30 502

前のページに戻る