金属蒸着用発熱体及びその製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-367064
公開番号（公開出願番号）：特開2005-135594
出願日： 2003年10月28日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：

【課題】溶融金属に対する濡れ性を改善し、長寿命化を達成することができる金属蒸着用発熱体とその製造方法を提供する。【解決手段】二硼化チタン(TiB2)及び/又は二硼化ジルコニウム(ZrB2 )と窒化硼素(BN)とを含有してなるセラミックスであって、溶融金属を存在させる部位に、Al及び/又はSiを含む酸化物層が形成されてなることを特徴とする金属蒸着用発熱体。この場合において、更にキャビティを有してなるものが好ましい。二硼化チタン(TiB2)及び/又は二硼化ジルコニウム(ZrB2 )と窒化硼素(BN)とを含有してなるセラミックスの溶融金属を存在させる部位に、アルミナゾル及び/又はシリカゾルを塗布した後、乾燥することを特徴とする請求項1又は2記載の金属蒸着用発熱体の製造方法。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

二硼化チタン(TiB2)及び/又は二硼化ジルコニウム(ZrB2 )と窒化硼素(BN)とを含有してなるセラミックスであって、溶融金属を存在させる部位に、Al及び/又はSiを含む酸化物層が形成されてなることを特徴とする金属蒸着用発熱体。

IPC (5件)：

H05B3/10 , C04B35/58 , C04B35/583 , C23C14/24 , H05B3/20

FI (5件)：

H05B3/10 C , C04B35/58 105L , C23C14/24 A , H05B3/20 393 , C04B35/58 103J

Fターム (51件)：

3K034AA03 , 3K034AA04 , 3K034AA10 , 3K034BB06 , 3K034BC01 , 3K034HA10 , 3K034JA01 , 3K034JA10 , 3K092PP20 , 3K092QB06 , 3K092QB12 , 3K092QB63 , 3K092QB71 , 3K092VV40 , 4G001BA03 , 4G001BA04 , 4G001BA05 , 4G001BA06 , 4G001BA07 , 4G001BA08 , 4G001BA09 , 4G001BA10 , 4G001BA11 , 4G001BA13 , 4G001BA22 , 4G001BA24 , 4G001BA32 , 4G001BA33 , 4G001BA36 , 4G001BA38 , 4G001BA44 , 4G001BA45 , 4G001BB03 , 4G001BB04 , 4G001BB13 , 4G001BB22 , 4G001BB24 , 4G001BB32 , 4G001BB33 , 4G001BB36 , 4G001BB38 , 4G001BB44 , 4G001BB45 , 4G001BC11 , 4G001BC13 , 4G001BC42 , 4G001BC72 , 4G001BD37 , 4G001BD38 , 4G001BE11 , 4K029DB13

引用特許：

出願人引用 (2件)

特公昭53-20256号公報
改良された初期濡れ性能を有するセラミック蒸発ボ-ト及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-130114 出願人：エレクトロシュメルツベルク・ケンプテン・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング

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