超薄板圧電共振子素板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-200351
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021740
出願日： 1992年07月03日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】超薄圧電振動部の周囲をこれと一体の肉厚環状囲繞部にて包囲することによって超薄振動部の機械的形状を維持するタイプの超薄板圧電共振子の素板段階に於ける超薄振動部厚さ調整を失敗なく行い、製品の歩留を向上する為の超薄板圧電共振子の製造方法を提供することを目的とする。【構成】上述の目的を達成する為、本発明に係る製造方法は以下の如き手法をとる。即ち、圧電ウエファに多数の凹陥を形成し該凹陥底部を超薄振動部とすると共に、これら各超薄振動部の厚さを夫々エッチングによって所定の値とバラツキの範囲内に収める際、一次加工を終了した圧電ウエファの凹陥形成側表面に折れら凹陥の位置に対応する孔を設けた厚板を接着し、該孔を介して前記各凹陥にエッチング液を滴下するようにした。

請求項（抜粋）：

超薄振動部の周囲にこれと一体の厚肉環状囲繞部を有する超薄板圧電共振子素板を単一の圧電ウエファ上に同時に多数形成した後夫々の素板振動部の厚さをエッチングによって微調整するに際して、前記圧電ウエファの環状囲繞部に包囲された凹陥が形成された側の表面に前記凹陥に夫々対応する孔を設けた厚板を接着し、前記孔を介して前記凹陥内に夫々所要量のエッチング液を滴下することによって、一凹陥内のエッチング液又はその蒸気が隣接する他の凹陥底部を構成する振動部の厚さ微調整に影響を及ぼさないようにしたことを特徴とする超薄板圧電共振子素板の製造方法。

IPC (2件)：

H03H 3/02 , H01L 21/306

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開昭62-199107
特開昭62-185403
特開昭62-171124

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審査官引用 (4件)

特開昭62-199107
特開昭62-185403
特開昭62-171124

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