特許

J-GLOBAL ID：200903005286869960

コントラスト比を改良するため小さくされたマイクロミラーのミラー・ギャップ

発明者： デュアン イー.カーター ,  ジェームズ ディ.ハッフマン ,  ロドニー ディ.ミラー ,  ブライアン エル.レイ ,  ロバート イー.メイヤー
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-334682
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258528
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】 画像品質の向上。【解決手段】 半導体基板708上につくられるマイクロミラー・アレイ。マイクロミラー・アレイ内のマイクロミラーは、内部アクティブ領域704のミラーに当たる光を選択的に変調する内部アクティブ領域704と、内部アクティブ領域704によって生成される画像の周りの暗いボーダー部をつくる外部ボーダー領域702に論理的に区分される。隣接するミラーは、各ミラー間のギャップによって回転可能となる。アレイの内部アクティブ領域704のミラー間のギャップ712は、外部ボーダー領域702の少なくとも幾つかのミラー間のギャップ710より大きい。外部領域702の一層小さなギャップ710は、外部領域702のミラーを単一方向への回転に制限することによって可能となる。

請求項（抜粋）：

マイクロミラー・アレイであって、基板の第1の表面上につくられる電気的部品を有する基板と、マイクロメカニカル光変調素子のアレイとを含み、マイクロメカニカル光変調素子はそれぞれ、アドレス指定回路、及び前記基板によって支持され基板から離れて配置されるミラーを含み、前記各ミラーは隣接するミラーからギャップによって離されており、前記アレイは内部光変調領域、及び前記内部光変調領域を囲む外部ボーダー領域を形成し、前記ギャップは、前記内部光変調領域のミラー間よりも、前記外部ボーダー領域の少なくとも幾つかのミラー間の方が小さいマイクロミラー・アレイ。

IPC (2件)：

G02B 26/08 ,  H04N 5/74

FI (2件)：

G02B 26/08 E ,  H04N 5/74 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 水平解像度を高める方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-282123   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
• 光変調表示素子およびそれを用いた投射型表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-300991   出願人：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社
• マイクロミラー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-041265   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 投写型画像表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-267914   出願人：松下電器産業株式会社