特許
J-GLOBAL ID:200903005297672328

真空ポンプにおける冷却構造

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 恩田 博宣 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-308855
公開番号(公開出願番号):特開2002-115687
出願日: 2000年10月10日
公開日(公表日): 2002年04月19日
要約:
【要約】【課題】真空ポンプにおけるポンプ室への油侵入を防止する軸シール用の接触型シール手段の耐久性を向上する。【解決手段】歯車34,35の回転によってギヤ収容室331の底部からかき上げられた潤滑油Yの一部は、スリット47,49から残余空間143,144へ入る。残余空間143,144へ進入した潤滑油Yは、リップシール44,45を潤滑すると共に、リップシール44及びその周辺部材を冷却する。リップシール44,45を潤滑すると共に、リップシール44及びその周辺部材を冷却した潤滑油Yは、スリット48,50を経由してギヤ収容室331の底部に還流する。
請求項(抜粋):
回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、油存在領域と前記ポンプ室とを隣合わせると共に、前記回転軸を貫通させる隔壁と、前記隔壁を貫通して前記油存在領域に突出する前記回転軸の周面と、前記回転軸を貫通させる前記隔壁の貫通孔との間に配置された軸シール用の接触型シール手段と、前記油存在領域から前記接触型シール手段を収容する収容空間へ油を送ると共に、前記収容空間へ送られた油を油存在領域へ還流する油通路と、前記油存在領域内の貯留油をかき上げる油かき上げ手段とを備え、前記油通路の入口を前記隔壁に設けると共に、前記入口を前記回転軸よりも上方に設け、前記油通路の出口の少なくとも一部を前記回転軸の高さ位置以下に設け、前記油かき上げ手段のかき上げ作用によって前記油通路の入口から前記油通路内へ油を供給するようにした真空ポンプにおける冷却構造。
IPC (9件):
F04C 29/04 ,  F04B 39/00 104 ,  F04B 39/02 ,  F04B 39/12 101 ,  F04C 23/00 ,  F04C 25/02 ,  F04C 29/02 311 ,  F16J 15/32 311 ,  F16H 57/04
FI (10件):
F04C 29/04 D ,  F04B 39/00 104 A ,  F04B 39/02 F ,  F04B 39/02 X ,  F04B 39/12 101 B ,  F04C 23/00 E ,  F04C 25/02 K ,  F04C 29/02 311 K ,  F16J 15/32 311 A ,  F16H 57/04 G
Fターム (36件):
3H003AA05 ,  3H003AB07 ,  3H003AC01 ,  3H003BC01 ,  3H003BD04 ,  3H003BD12 ,  3H003BE07 ,  3H003CD05 ,  3H029AA06 ,  3H029AA09 ,  3H029AA18 ,  3H029AB06 ,  3H029BB01 ,  3H029BB03 ,  3H029BB12 ,  3H029BB16 ,  3H029BB44 ,  3H029CC08 ,  3H029CC17 ,  3H029CC20 ,  3H029CC22 ,  3H029CC26 ,  3H029CC32 ,  3H029CC38 ,  3H029CC48 ,  3J006AD01 ,  3J006AE14 ,  3J063AA40 ,  3J063AC01 ,  3J063BA15 ,  3J063BB03 ,  3J063CA01 ,  3J063CB13 ,  3J063XH03 ,  3J063XH13 ,  3J063XH42

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