特許

J-GLOBAL ID：200903005298767756

極端紫外光源

発明者： 池内 満
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-087925
公開番号（公開出願番号）：特開2003-288998
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】 デブリの発生を抑え、大出力の極端紫外光を放射することができる極端紫外光源を提供すること。【解決手段】 高圧側電極の貫通孔111、絶縁板22の貫通孔221、接地側電極の貫通孔121はすべて共通の軸上(放電軸c)になるように配置されている。キャピラリ構造体21は円板状で、その円周に沿って等間隔にキャピラリ211を複数有する。キャピラリ構造体21は回転駆動され、ある一つのキャピラリ211が放電軸c上に位置したときに高圧側電極11と接地側電極12との間にパルス電圧を印加する。空間Saから作動ガスが貫通孔111,221,121,キャピラリ211に供給されており、上記パルス電圧によりガス放電が生じ、高温プラズマが形成される。これにより極端紫外光が発生し、発生した極端紫外光は接地側電極12の貫通孔121を通って、空間Sbへ放出される。

請求項（抜粋）：

絶縁体を挟むように第1、第2の電極が配置され、絶縁体と第1、第2の電極には、それぞれ貫通孔が設けられ、該貫通孔に発光ガスを流入させ、上記第1、第2の電極にパルス電圧を印加して、上記貫通孔内で発生した極端紫外光を、上記第2の電極側から放射させる極端紫外光源であって、前記絶縁体には複数の貫通孔が設けられており、少なくとも前記絶縁体は移動可能に構成され、前記第1、第2の電極の貫通孔および絶縁体の貫通孔が同軸上に配置されたとき、上記第1、第2の電極にパルス電圧を印加することを特徴とする極端紫外光源。

IPC (5件)：

H05G 2/00 ,  G21K 5/00 ,  G21K 5/02 ,  H01L 21/027 ,  H05H 1/24

FI (5件)：

G21K 5/00 Z ,  G21K 5/02 X ,  H05H 1/24 ,  H05G 1/00 K ,  H01L 21/30 531 S

Fターム (5件)：

4C092AA07 ,  4C092AB30 ,  4C092AC09 ,  5F046GA03 ,  5F046GC03