特許

J-GLOBAL ID：200903005298974417

塗布組成物

発明者： 花畑 博之 ,  小野 博文
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-335559
公開番号（公開出願番号）：特開2004-168588
出願日： 2002年11月19日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】機械的強度が極めて高く、表面平滑性に優れ、低誘電率性、低屈折率性の薄膜n製造に好適な塗布組成物を提供する。【解決手段】1nm以上80nm以下の平均粒径を有し、Si/Al元素モル比が2.5以上であるゼオライト微粒子と、例えば、化学式(1)で示すアルコキシシラン、その加水分解物およびその重縮合物から選ばれる少なくとも1種の化合物を含有するシリカ前駆体と、水を含む塗布組成物。R1n(Si)(OR2)4-n (1)(式中、R1およびR2は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基を表し、nは、0〜3の整数である)【選択図】 選択図なし。

請求項（抜粋）：

(A)1nm以上80nm以下の平均粒径を有し、かつ、Si/Al元素モル比が2.5以上である少なくとも1種のゼオライト粒子、 (B)化学式(1)で表されるアルコキシシラン(AS1)、化学式(2)で表されるアルコキシシラン(AS2)、アルコキシシラン(AS1)の加水分解物、アルコキシシラン(AS2)の加水分解物、アルコキシシラン(AS1)の重縮合物、アルコキシシラン(AS2)の重縮合物、およびアルコキシシラン(AS1)とアルコキシシラン(AS2)の重縮合物から選ばれる少なくとも1種の化合物を含有するシリカ前駆体、 R1n(Si)(OR2)4-n (1) (式中、R1およびR2は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基を表し、nは、0〜3の整数である) R3m(R4O)3-mSi-(R7)p-Si(OR5)3-qR6q (2) (R3、R4、R5およびR6は、同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基を示し、mおよびqは、同一でも異なっていてもよく、0〜2の数を示し、R7は、酸素原子または(CH2)r-で表される基を示し、rは、1〜6、pは、0または1を示す。)、および (C)水、 を含むことを特徴とする塗布組成物。

IPC (3件)：

C01B39/02 ,  B05D7/24 ,  H01L21/316

FI (4件)：

C01B39/02 ,  B05D7/24 302Y ,  B05D7/24 303B ,  H01L21/316 H

Fターム (58件)：

4D075BB24Z ,  4D075BB26Z ,  4D075CA03 ,  4D075CA13 ,  4D075CA23 ,  4D075CA48 ,  4D075CB02 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB01 ,  4D075DB06 ,  4D075DB07 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DB31 ,  4D075DC01 ,  4D075DC13 ,  4D075DC18 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4D075DC38 ,  4D075EA06 ,  4D075EB07 ,  4D075EB12 ,  4D075EB13 ,  4D075EB14 ,  4D075EB15 ,  4D075EB19 ,  4D075EB20 ,  4D075EB22 ,  4D075EB32 ,  4D075EB35 ,  4D075EB37 ,  4D075EB38 ,  4D075EB39 ,  4D075EB43 ,  4D075EB47 ,  4D075EC01 ,  4D075EC30 ,  4D075EC53 ,  4G073BB56 ,  4G073BD18 ,  4G073CZ01 ,  4G073FB30 ,  4G073FB42 ,  4G073FC01 ,  4G073FC18 ,  4G073FD01 ,  4G073FF05 ,  4G073UA01 ,  4G073UB11 ,  4G073UB14 ,  5F058BA20 ,  5F058BC05 ,  5F058BD07 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ02