特許
J-GLOBAL ID：200903005299237971
集積回路および集積回路のセル間配線方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 常明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-137520
公開番号（公開出願番号）：特開平10-313062
出願日： 1997年05月13日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 差動配線の正相接続/逆相接続の選択が簡単に行えるようにすること。【解決手段】 第2層を隔てた第1層、第3層の間で立体ペア配線を設け、第1層の配線16を第2層の配線14に第1層/第2層間スルーホール18により接続し、第3層の配線17を第2層の配線15に第2層/第3層間スルーホール19により接続する。逆相関係で接続するときは、第1層/第2層間スルーホール20で配線15、16を接続し、第2層/第3層間スルーホール21で配線14、17を接続する。
請求項（抜粋）：
差動配線を用いた集積回路において、セル間配線用の差動配線を、セル入力又は出力端子近傍外の配線では、ひとつ以上の層を隔てた2つの配線層を用いて正逆両相を同一位置に設け、セル入力又は出力端子近傍の配線では、前記2つの配線層の間に存在する配線層を用いて設けたことを特徴とする集積回路。
IPC (3件)：
H01L 21/82
, H01L 27/04
, H01L 21/822
H01L 21/82 B
, H01L 27/04 A
