特許
J-GLOBAL ID:200903005307345690

接続構造体および半導体製造・検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 安富 康男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-242793
公開番号(公開出願番号):特開2003-059789
出願日: 2001年08月09日
公開日(公表日): 2003年02月28日
要約:
【要約】【課題】 電源から導出されたソケットを取り付けたり、取り外したりした際、接続端子がセラミック基板から脱落することがない接続構造体を提供すること。【解決手段】 導電体が配設されたセラミック基板の上記導電体に接続・固定された接続端子を含んで構成され、上記接続端子と電源から導出されたソケットとを接続させるための接続構造体であって、上記ソケットを取り付けるための外部端子ピンは、棒状体とその中間に形成された鍔部とからなるとともに、上記接続端子と変形容易な導電線を介して接続され、上記接続端子の周囲に設けられ、その上端がセラミック基板の底面に固定された筒状体、および、上記筒状体の内部に配置された固定部材を用いることにより、上記外部端子ピンが上記筒状体の内部に固定されていることを特徴とする接続構造体。
請求項(抜粋):
導電体が配設されたセラミック基板の前記導電性に接続・固定された接続端子を含んで構成され、前記接続端子と電源から導出されたソケットとを接続させるための接続構造体であって、前記ソケットを取り付けるための外部端子ピンは、棒状体とその中間に形成された鍔部とからなるとともに、前記接続端子と変形容易な導電線を介して接続され、前記接続端子の周囲に設けられ、その上端がセラミック基板の底面に接触する筒状体、および、前記筒状体の内部に配置された固定部材を用いることにより、前記外部端子ピンが前記筒状体の内部に固定されていることを特徴とする接続構造体。
IPC (7件):
H01L 21/02 ,  H01L 21/68 ,  H01R 12/32 ,  H01R 13/04 ,  H05B 3/02 ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/74
FI (7件):
H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 R ,  H01R 13/04 A ,  H05B 3/02 B ,  H05B 3/20 393 ,  H05B 3/74 ,  H01R 9/09 A
Fターム (91件):
3K034AA02 ,  3K034AA04 ,  3K034AA06 ,  3K034AA10 ,  3K034AA11 ,  3K034AA15 ,  3K034AA16 ,  3K034AA34 ,  3K034BA06 ,  3K034BA13 ,  3K034BA17 ,  3K034BB06 ,  3K034BB13 ,  3K034BB14 ,  3K034BC04 ,  3K034BC16 ,  3K034CA02 ,  3K034CA14 ,  3K034CA15 ,  3K034CA22 ,  3K034CA26 ,  3K034CA27 ,  3K034CA28 ,  3K034CA32 ,  3K034CA37 ,  3K034CA39 ,  3K034DA04 ,  3K034DA05 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K034JA01 ,  3K034JA10 ,  3K092PP03 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB08 ,  3K092QB17 ,  3K092QB18 ,  3K092QB20 ,  3K092QB31 ,  3K092QB32 ,  3K092QB37 ,  3K092QB38 ,  3K092QB43 ,  3K092QB62 ,  3K092QB70 ,  3K092QB73 ,  3K092QB74 ,  3K092QB75 ,  3K092QB76 ,  3K092QC02 ,  3K092QC20 ,  3K092QC25 ,  3K092QC34 ,  3K092QC42 ,  3K092QC43 ,  3K092QC44 ,  3K092QC49 ,  3K092QC52 ,  3K092QC59 ,  3K092QC64 ,  3K092RF02 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF19 ,  3K092RF26 ,  3K092TT16 ,  3K092VV28 ,  3K092VV31 ,  3K092VV32 ,  5E077BB12 ,  5E077BB31 ,  5E077EE09 ,  5E077JJ10 ,  5E077JJ24 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA18 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031JA01 ,  5F031JA21 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031MA33 ,  5F031NA05 ,  5F031PA11 ,  5F031PA20

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