特許

J-GLOBAL ID：200903005308800846

加工装置、ガラススクライブ装置及びガラス切断方法

発明者： 柴 岳人
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-320917
公開番号（公開出願番号）：特開2001-139337
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】 被加工体の表面にうねりが存在している場合でも、加工ヘッドが正確に被加工体の表面を追従して、正確に所定の加工を施すことができる加工方法とその装置を提供すること。【解決手段】 加工ヘッド15、51を、ベロウフラム式エアシリンダ24、24aに直結した構造にして、Z軸方向の変位を制御する。

請求項１：

被加工体を保持するステージと、前記被加工物を加工する加工ヘッドと、前記ステージ及び前記加工ヘッドを相対的にX軸方向或いはY軸方向の少なくとも一方に移動させる第1の移動手段と、前記加工ヘッドをZ軸方向に移動させる第2の移動手段と、前記加工へツドの加工治具を前記被加工体に対して所定の圧力で接触させる圧力調整手段とを有することを特徴とする加工装置。

IPC (3件)：

C03B 33/02 ,  B26F 3/00 ,  C03B 33/033

FI (3件)：

C03B 33/02 ,  B26F 3/00 A ,  C03B 33/033

Fターム (8件)：

3C060AA08 ,  3C060CB05 ,  3C060CB14 ,  4G015FA03 ,  4G015FB01 ,  4G015FC02 ,  4G015FC11 ,  4G015FC14