特許
J-GLOBAL ID：200903005311398340
走査型反射光顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-042458
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236610
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 入射光を透過しない試料に対して,微小領域の光特性を観察し得る走査型反射光顕微鏡を提供する。【解決手段】 本発明は微小開口を持つ光ファイバ2と反射光を集めるレンズ3とその強度を測る観測系13と試料ステージ10からなる。光ファイバ2はレンズ3を貫いている。光ファイバ2の微小開口から漏れだすエバセント光を試料に当てる。試料からの反射光はレンズ3で集められた後、コリメートレンズ12で光電子増倍管13に導かれ、強度が測定される。【効果】あらゆる試料に対して波長以下の領域の形状測定,分光,吸収測定等ができるようになる。
請求項（抜粋）：
試料上を走査する光ファイバによって試料に光を照射し,試料から発生する光を観測する顕微鏡において,入射光用光ファイバが集光用の球レンズを貫いていることを特徴とする走査形反射光顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
