特許

J-GLOBAL ID：200903005312291573

多結晶ロッドの吊り具および吊り具の位置制御装置

発明者： 新倉 啓史
出願人/特許権者： コマツ電子金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-248571
公開番号（公開出願番号）：特開平9-071492
出願日： 1995年09月01日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：

【要約】【目的】 連続チャージ法により多結晶ロッドを溶解して融液に供給する場合、多結晶ロッド、原料溶解ヒータの金属汚染を防止するとともに、多結晶ロッドの溶け残り量を少なくする。【構成】 吊り具100は、炭素または炭素繊維強化炭素複合材料からなり、平行リンク機構を構成する3個の吊りフック10で多結晶ロッド14を釣支する。原料溶解ヒータ21内に挿入した多結晶ロッド14が溶解限度位置まで下降すると、シャフト1に取着したストッパ11が原料溶解ヒータ21の上端に当接し、吊り具100の下降が停止する。重量センサ22が検出した多結晶ロッドの重量からコントローラ24が多結晶ロッドの下降位置を算出し、昇降装置23を停止させる。この吊り具は原料溶解ヒータ21内に挿入しても溶解、金属汚染を起こさず、多結晶ロッドを溶解限度まで溶解させることができるため、多結晶ロッドの溶け残り量が少ない。

請求項（抜粋）：

吊り具を用いて釣支した多結晶ロッドをヒータ内に挿入して溶解するチャージ装置において、吊り具が炭素または炭素繊維強化炭素複合材料からなることを特徴とする多結晶ロッドの吊り具。

IPC (4件)：

C30B 15/02 ,  C30B 15/28 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (4件)：

C30B 15/02 ,  C30B 15/28 ,  C30B 29/06 502 B ,  H01L 21/208 P