特許

J-GLOBAL ID：200903005318829516

ガス供給系用部品

発明者： 石川 勉 ,  暮石 芳憲
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-272835
公開番号（公開出願番号）：特開平6-123381
出願日： 1992年10月12日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：

【要約】【目的】 ガスの凝縮を防止しながら、ガス供給系用部品の小型軽量化、構成の簡略化を図れるようにする。【構成】 CVDなどの供給先の要求に応じてダイヤフラム15により通流するガスをオン/オフ制御するダイヤフラム型のバルブであって、ダイヤフラム15の内側に形成される弁室21に接しているために、その流路の断面積が急激に変化する貫通孔19に対し、ヒータ20を巻回して貫通孔19内の通流ガスを加熱し、断熱膨張の発生を無くし、ガスの凝縮が生じないようにする。

請求項（抜粋）：

通流するガスの制御などを供給先の要求に応じて行うガス供給系用部品であって、そのガス流路の断面積が急激に増大する部位のガスを加熱する加熱手段を設けたことを特徴とするガス供給系用部品。