特許
J-GLOBAL ID：200903005319045942
光学式変位検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-203028
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026817
出願日： 1992年07月07日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【構成】 受光素子120の正弦波出力に基づき、A相、該A相とπ/2位相ずれたB相、及び前記A相とπ位相ずれたA’相出力を得る位相ずれ正弦波出力回路150と、前記A相-B相の位相差、及びB相-A’相の位相差を複数に分割し、微少位相差を有した複数の正弦波を出力する位相分割回路162と、前記各分割出力された各位相の正弦波の平均電圧値近傍での立上がりないし立ち下がり部分を採取し、前記各位相の正弦波に基づく立上がりないし立ち下がり部分を合成して鋸歯状出力を得る鋸歯形成回路172と、を備えたことを特徴とする光学式変位検出装置。【効果】 受光素子120の出力からA相、B相、A’相出力を得、A相-B相、B相-A’相をそれぞれ複数に分割し、各正弦波の立上がりないしたち下がり部分を合成することにより、鋸歯状出力を得るので、スケールのピッチに比較し高分解能の変位検出を行うことが可能となる。
請求項（抜粋）：
所定の基準格子が形成されているメインスケールと、検出格子が形成され、前記メインスケールに対し相対移動可能に並列配置されるインデックススケールと、前記基準格子に光を照射する発光素子と、前記基準格子及び検出格子により制限された光を受光してメインスケールとインデックススケールの相対移動量を互いに位相の異なる複数の正弦波信号として出力する複数の受光素子と、この複数の受光素子の出力の位相差を複数に分割し、微少位相差を有した複数の正弦波を出力する位相分割回路と、前記各分割出力された各位相の正弦波の平均電圧値近傍での立上がりないし立ち下がり部分を採取し、前記各位相の正弦波に基づく立上がりないし立ち下がり部分を合成して鋸歯状出力を得る鋸歯形成回路と、を備えたことを特徴とする光学式変位検出装置。
IPC (2件)：
G01B 11/00
, G01D 5/245 102
