特許
J-GLOBAL ID：200903005322574913
共焦点顕微鏡装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 省躬
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-541092
公開番号（公開出願番号）：特表2000-512401
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：
【要約】物体をラスター型に照明するための照明装置と、照明光の第1の波長選択分割を作り出すための第1の手段と、物体の数個の点について平行な、物体から来る光の第2の波長選択分割を作り出すための第2の手段と、第2の手段によって作り出される配光を把握するための検出手段とから成る共焦点顕微鏡装置を介して、共焦点顕微鏡用のオートフォーカスが実現し、その際波長選択照明されている物体像のスペクトル分割と検出とが点ごとに少なくとも1回行われ、物体状況に対応するあらかじめ与えられた標準値からの周波数変位および/または強度変位を決定することによって、フォーカス状況を調整するための駆動信号が鉛直方向の物体位置および/または顕微鏡の結像系を介して作り出され、またさらに少なくとも1個の同時に検出されるまたはあらかじめ検出された第2の高さプロフィールからの少なくとも1個の第1の高さプロフィールの変位を求めるための、主として半導体構造の欠陥を把握および/または制御するための方法が実現し、その際第1の物体が光源を用いて波長選択照明され、第1の物体から起源する光によって検出され、あらかじめ検出されているまたは同時に検出される第2の物体と比較される。
請求項（抜粋）：
物体をラスター形に照明するための照明装置と、照明光の第1の波長選択分 割を作り出すための第1の手段と、物体の数個の点について平行であり物体 から来る光の第2の波長選択分割を作り出すための第2の手段と、第2の手 段によって作り出された配光を把握するための検出手段と、から成る共焦点 顕微鏡装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 21/00
, G01B 11/02 Z
