特許
J-GLOBAL ID:200903005324708534
波形形成回路
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
深見 久郎 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-156008
公開番号(公開出願番号):特開平11-352199
出願日: 1998年06月04日
公開日(公表日): 1999年12月24日
要約:
【要約】【課題】 試験装置において用いられる波形形成回路のタイミング精度を改善し、かつ各回路構成を簡略化する。【解決手段】 被試験半導体装置との間で送受されるべきテスト信号を生成するフリップフロップ(7および10)および判定回路(8および9)に対するエッジ信号を与えるバーニア(6a〜6f)を、これらのフリップフロップおよび判定回路に直接結合する。また、エッジ信号を生成する回路群であるOR回路以降の回路段をECL回路で構成し、このエッジ信号を制御するための信号を発生する回路群である原発振器(1)、カウンター(3)、制御ユニット(2)および一致回路(4)をCMOS回路で構成する。
請求項1:
被試験装置の試験のための基本周期を決定する基本タイミング信号を発生する基本タイミング信号発生手段、前記基本タイミング信号に同期してエッジ信号を生成するエッジ信号発生手段、互いに並列に設けられ、前記エッジ信号発生手段からのエッジ信号を受けて遅延する複数の可変遅延手段、および前記複数の可変遅延手段各々に対応して設けられかつ対応の可変遅延回路の出力に結合され、各々が対応の可変遅延回路の出力からの出力信号に従って動作し、前記被試験装置の試験に必要な信号を生成する複数の内部回路を備え、前記複数の内部回路は、前記複数の可変遅延手段の第1の可変遅延手段に対応して設けられ、前記第1の可変遅延手段の出力信号に同期してドライバを介して前記被試験装置へ与えるテスト信号の波形を生成するドライバ用波形生成回路と、前記複数の可変遅延手段の第2の可変遅延手段に対応して設けられ、前記第2の可変遅延手段の出力信号に同期して前記ドライバの活性/非活性を制御する信号を生成するドライバ制御信号生成回路と、前記複数の可変遅延手段の第3の可変遅延手段に対応して設けられ、前記第3の可変遅延手段の出力信号に応答して活性化され、活性化時前記被試験装置の出力信号の論理レベルが期待値と一致するか否かを判定する判定手段とを含む、波形形成回路。
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許:
審査官引用 (9件)
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特開昭63-144269
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特開昭61-066973
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試験波形発生器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-249926
出願人:横河電機株式会社
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特開昭63-144269
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特開昭61-066973
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タイミング発生回路
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-160414
出願人:横河電機株式会社
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論理波形生成装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-000650
出願人:株式会社アドバンテスト
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半導体試験装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-057726
出願人:株式会社東芝, アジアエレクトロニクス株式会社
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特開昭62-271026
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