特許
J-GLOBAL ID:200903005338262628

寸法測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-025173
公開番号(公開出願番号):特開平8-219727
出願日: 1995年02月14日
公開日(公表日): 1996年08月30日
要約:
【要約】【目的】 被測定対象物の明部の輝度むらや暗部に入射する外乱光の影響を受けることなく、被測定対象物の寸法を連続的に正確に測定する。【構成】 光電変換素子から出力される映像信号と隣接する光電変換素子から出力される映像信号との差を取り差分信号として出力する差分信号出力手段8と、前記差分信号から所定レベルを超える映像信号を最大差分信号として出力する最大差分信号出力手段(12、13、14)と、前記最大差分信号の前後所定ビットの映像信号の総和を算出して出力する総和算出手段(15、16)と、光電変換素子から出力される映像信号の最大波高値を検出する最大波高値検出手段(11)と、映像信号の総和と、映像信号の最大波高値から被測定対象物のエッジ位置を演算するエッジ位置演算手段(17)とを具備した寸法測定装置である。
請求項(抜粋):
被測定対象物の表面を所定方向に走査することにより得られる光学的信号を光電変換素子によりアナログ映像信号に変換してエッジ位置を算出し、このエッジ位置に基づいて被測定対象物の寸法を測定する寸法測定装置において、前記アナログ映像信号を連続的にデジタル映像信号に変換して出力するA/D変換手段と、前記A/D変換手段から出力されるデジタル映像信号の内、対象となる第1のデジタル映像信号と、この第1のデジタル映像信号に対して所定方向側に隣接する第2のデジタル映像信号との差を第1の差分信号として出力する第1の差分信号出力手段と、前記第1の差分信号出力手段から出力された第1の差分信号から第1の所定レベルを超える第1の差分信号を第2の差分信号として出力する第2の差分信号出力手段と、前記第2の差分信号出力手段から出力された第2の差分信号の前後所定ビットのデジタル映像信号の総和を算出する総和算出手段と、前記デジタル映像信号の最大波高値を検出する最大波高値検出手段と、前記総和算出手段にて算出されたデジタル映像信号の総和と、前記最大波高値検出手段で検出されたデジタル映像信号の最大波高値から前記被測定対象物のエッジ位置を演算するエッジ位置演算手段とを具備したことを特徴とする寸法測定装置。
IPC (2件):
G01B 11/03 ,  G01B 11/00
FI (2件):
G01B 11/03 Z ,  G01B 11/00 A

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