結晶点群32の圧電共振素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村修一郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-501060
公開番号（公開出願番号）：特表2004-534222
出願日： 2002年05月28日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

本発明は担持担体(詳しくは分散媒)と接触して厚みすべり振動子として作動し得る結晶点群32の圧電共振素子に関する。本発明により、共振素子(1)は空気中または真空中で温度補償される結晶カットとは異なる、結晶X軸を中心に実質的に角度Φだけ回転された単回転Yカット(S1,S2)であり、前記Yカットは担持担体(分散媒)と接触しない場合に所定の温度範囲、好ましくは10°C〜40°Cの温度範囲において共振周波数f(T)の負の温度特性を有し、担持担体(分散媒)と接触する場合の測定範囲における共振周波数の線形温度係数aの値は1ppm/°C以下、好ましくは0.5ppm/°C以下である。共振素子(1)はさらに、測定さるべきパラメータに対する少なくとも1つの感受層を有していてよい。

請求項（抜粋）：

担持担体と接触して厚みすべり振動子として作動する結晶点群32の圧電共振素子において、前記共振素子(1)は空気中または真空中で温度補償される結晶カットとは異なる、結晶X軸を中心に実質的に角度Φだけ回転された単回転Yカット(S1,S2)であり、前記Yカットは担持担体と接触しない場合には好ましくは10°C〜40°Cの所定温度範囲において共振周波数f(T)の負の温度特性を有し、担持担体と接触する場合には測定範囲における共振周波数の線形温度係数aの値は1ppm/°C以下、好ましくは0.5ppm/°C以下であることを特徴とする共振素子。

IPC (2件)：

G01N5/02 , H04R17/10

FI (2件)：

G01N5/02 A , H04R17/10 330Y

Fターム (8件)：

5D019BB03 , 5D019FF01 , 5J108AA03 , 5J108AA09 , 5J108BB01 , 5J108BB02 , 5J108BB03 , 5J108DD02

引用特許：

審査官引用 (1件)

濃度センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-174188 出願人：芥川忠正, 株式会社ユアサコーポレーション

前のページに戻る