特許
J-GLOBAL ID:200903005359505113

積層圧電アクチュエータ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-002140
公開番号(公開出願番号):特開平5-190933
出願日: 1992年01月09日
公開日(公表日): 1993年07月30日
要約:
【要約】【目的】本発明は少ない圧電体積層数で可変変位量範囲を大きくでき、且つ、十分な精度を確保できる積層圧電アクチュエータを提供することを目的とする。【構成】所定の厚みの圧電体単位ユニット1a〜1mを複数積層して構成した積層電圧アクチュエータ本体10と、圧電体単位ユニットに対して基準変位量を与える基準電圧の、それぞれ異なる正数倍の電圧値を有する複数種の電圧をそれぞれ個別に発生する電源30と、前記積層電圧アクチュエータ本体の各圧電体単位ユニットにそれぞれ前記電源からの電圧の特定の一つを供給制御するための接続制御手段20と、与えるべき変位量に応じてこの接続制御手段を制御する制御手段4,5 とを具備して構成する。
請求項(抜粋):
所定の厚みの圧電体単位ユニットを複数積層して構成した積層電圧アクチュエータ本体と、圧電体単位ユニットに対して基準変位量を与える基準電圧の、それぞれ異なる正数倍の電圧値を有する複数種の電圧をそれぞれ個別に発生する電源と、前記積層電圧アクチュエータ本体の各圧電体単位ユニットにそれぞれ前記電源からの電圧の特定の一つを供給制御するための接続制御手段と、与えるべき変位量に応じてこの接続制御手段を制御する制御手段とを具備して構成したことを特徴とする積層圧電アクチュエータ。
IPC (2件):
H01L 41/09 ,  G01B 7/34

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