特許

J-GLOBAL ID：200903005370307803

圧力検出装置

発明者： 大竹 精一郎 ,  長瀬 和義 ,  尾崎 慎治
出願人/特許権者： 日本電装株式会社
代理人 (1件)： 碓氷 裕彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-042472
公開番号（公開出願番号）：特開平7-253374
出願日： 1994年03月14日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】 感圧素子の電極幅に関係なく、仮に圧縮応力の作用面がずれたとしても感度が低下せず、精度の良い温度特性を得る。【構成】 半導体基板32からなり、少なくとも4個のゲージ抵抗25a〜25dを有し、圧力に応じた信号を出力する感圧素子3と、感圧素子3に圧力を伝達する圧力伝達部材2とを備え、感圧素子3のゲージ抵抗25a〜25dを有する面上に圧力伝達部材2を設置してなる圧力検出装置であって、感圧素子3の面方位を(110)面とし、結晶軸〈110〉方向にー対のゲージ抵抗25a、25bを配置するとともに結晶軸〈100〉方向にー対のゲージ抵抗25a、25bし互いに接続してブリッジ回路を構成する。そして、このブリッジ回路が、少なくとも圧力伝達部材2が押圧する感圧素子3の押圧面内に収まる。さらに、結晶軸〈100〉方向に温度補償抵抗を配置し上記半導体基板32の領域内に収まる。

請求項（抜粋）：

ゲージ抵抗を有し、圧力に応じた信号を出力する感圧素子と、該感圧素子に圧力を伝達する圧力伝達部材とを備え、前記感圧素子のゲージ抵抗を有する面上に前記圧力伝達部材を設置してなる圧力検出装置であって、前記感圧素子を前記圧力伝達部材が押圧する該感圧素子の押圧面内に前記ゲージ抵抗が収まることを特徴とする圧力検出装置。

IPC (2件)：

G01L 19/04 ,  G01L 9/04 101

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-257272
  
• 特開平4-257272
  
• 特開平4-043680
  
• 高速動圧力の測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-203892   出願人：鹿島建設株式会社