特許

J-GLOBAL ID：200903005378024886

磁気記録媒体保護膜の製造方法およびその製造装置

発明者： 銭谷 利宏 ,  日比野 直樹 ,  稲川 幸之助 ,  太田 賀文 ,  中村 久三
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-067876
公開番号（公開出願番号）：特開平9-259431
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 蒸着磁気テープの保護膜として、耐摩耗・摩擦特性に優れたDLC膜を極めてはやい速度で形成すること。【解決手段】 排気系を有する真空糟内で磁気記録媒体が形成されたテープを移送しながらその上にダイヤモンド状炭素膜を形成する際に、原料炭化水素ガスの分解を促進するためのプラズマ増強手段として該テープ表面近傍に磁場を発生させ、それにより捕捉された電子と原料炭化水素ガスとの衝突回数を多くして、該ダイヤモンド状炭素膜の形成速度を大きくし、また、該テープを移送するための主ローラーに高周波電位を印加し、該主ローラーと陽極との間に放電を起こさせて、原料炭化水素ガスを分解させ、該テープ表面には負の自己バイアス電圧を生じさせ、炭化水素イオン種や炭素イオン及び水素イオンを引きつけて、緻密なダイヤモンド状炭素膜を形成する。

請求項（抜粋）：

磁気記録媒体が形成されたテープ上に保護膜としてダイヤモンド状炭素膜を形成するための製造方法において、排気系を有する真空糟内で該テープを移送しながらその上に該ダイヤモンド状炭素膜を形成する際に、原料炭化水素ガスの分解を促進するためのプラズマ増強手段として該テープ表面近傍に磁場を発生させ、それにより捕捉された電子と原料炭化水素ガスとの衝突回数を多くして、該ダイヤモンド状炭素膜の形成速度を大きくし、また、該テープを移送するための主ローラーに高周波電位を印加し、該主ローラーと陽極との間に放電を起こさせて、原料炭化水素ガスを分解させ、該テープ表面には負の自己バイアス電圧を生じさせ、炭化水素イオン種や炭素イオン及び水素イオンを引きつけて、緻密なダイヤモンド状炭素膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体保護膜の製造方法。

IPC (5件)：

G11B 5/84 ,  C01B 31/02 101 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C30B 29/04

FI (5件)：

G11B 5/84 B ,  C01B 31/02 101 Z ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C30B 29/04 X