特許

J-GLOBAL ID：200903005378780184

単結晶ウエハ及びその製造方法

発明者： 片岡 明彦
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-399115
公開番号（公開出願番号）：特開2002-198762
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】 分極成分による応力を支配的にし、結晶加工時における分極成分による応力による形状を支配的にすることで、反りのばらつきが小さく且つ反り量の小さい高精度な単結晶ウエハ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 タンタル酸リチウムの単結晶から成るウエハの表裏主面が正負に電気的に分極され、正に分極された主面が凹形状であるとともに、負に分極された主面が凸形状である単結晶ウエハとする。

請求項（抜粋）：

タンタル酸リチウムの単結晶から成るウエハの表裏主面が正負に電気的に分極され、正に分極された主面が凹形状であるとともに、負に分極された主面が凸形状であることを特徴とする単結晶ウエハ。

IPC (4件)：

H03H 3/08 ,  C30B 29/30 ,  C30B 33/02 ,  H03H 9/25

FI (4件)：

H03H 3/08 ,  C30B 29/30 B ,  C30B 33/02 ,  H03H 9/25 C

Fターム (10件)：

4G077AA02 ,  4G077BC37 ,  4G077FE11 ,  5J097AA28 ,  5J097AA31 ,  5J097EE01 ,  5J097GG03 ,  5J097GG09 ,  5J097HA01 ,  5J097HA06