研磨シートおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹内澄夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252127
公開番号（公開出願番号）：特開平7-100769
出願日： 1993年09月16日
公開日（公表日）： 1995年04月18日
要約：

【要約】【目的】従来の研磨シートの突出粒子によって生じる被研磨物のキズ発生を防止するため、キズを生じないスラリーによる研磨法の良い点を維持し、しかもスラリーによる研磨法では行えなかった自動化大量研磨処理の容易な研磨シートおよびその製造方法を提供する。【構成】研磨シート(テープ)は、研磨粒子(32)と水溶性バインダー接着剤(33)から成る研磨層が不織布(31)に形成される。研磨シート(テープ)と被研磨物(35)とが接触する前に、その上に冷却水が吐き出される。供給される研摩シートの被研磨物(35)と接触するところは、冷却水によりスラリー状態が形成される。【効果】研摩シート上の研磨層がスラリー状になることにより、研摩表面から突き出た研摩粒子が回転し、被研磨物にキズをつけない。

請求項（抜粋）：