特許
J-GLOBAL ID：200903005380229320

固体撮像装置の製造方法

発明者：
寺西 信一

寺西 信一 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-308440
公開番号（公開出願番号）：特開2006-120936
出願日： 2004年10月22日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：
【課題】ポテンシャルディップの発生を抑制するため構造を、容易に形成することが可能な固体撮像装置の製造方法を提供する。 【解決手段】 互いに隣接して配置され同相の転送パルスが印加される第1及び第2電極からなる電極対を複数対有し、各電極対を単位として2相駆動される水平転送部を備えた固体撮像装置を製造する。複数個の第1電極4aを互いに間隔を設けて形成する工程と、第1電極をマスクとするイオン注入により、チャンネル電位を調整する不純物注入領域5aを形成する工程と、第1電極の表面及び側面を被覆する熱酸化膜6を形成する工程と、第1電極の間にそれぞれ、第1電極と端部を重ならせて第2電極7を形成する工程とを備える。イオン注入の方向を、異相の転送パルスが印加される第1電極の側に向かって傾いた斜め方向として、不純物注入領域の端縁を、第1電極の熱酸化膜形成後の端縁と熱酸化膜形成前の端縁との間の領域に配置する。【選択図】図1E
請求項（抜粋）：
互いに隣接して配置され一方が蓄積領域を他方が障壁領域を形成し同相の転送パルスが印加される第1及び第2電極からなる電極対を複数対有し、前記各電極対を単位として2相駆動される水平転送部を備えた固体撮像装置の製造方法において、 前記複数個の第1電極を互いに間隔を設けて周期的に配列して形成する工程と、 前記第1電極をマスクとするイオン注入により、チャンネル電位を調整する不純物注入領域を形成する工程と、 前記第1電極の表面及び側面を被覆する熱酸化膜を形成する工程と、 前記複数個の第1電極の間にそれぞれ、前記第1電極と端部を重ならせて前記第2電極を形成する工程とを備え、 前記不純物注入領域を形成する工程における前記イオン注入の方向を、異相の転送パルスが印加される前記第1電極の側に向かって傾いた斜め方向として、前記不純物注入領域の端縁を、前記第1電極の前記熱酸化膜形成後の端縁と熱酸化膜形成前の端縁との間の領域に配置することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
IPC (2件)：
H01L 27/148 ,  H04N 5/335
FI (3件)：
H01L27/14 B ,  H04N5/335 F ,  H04N5/335 U
Fターム (16件)：
4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA02 ,  4M118DA18 ,  4M118DA27 ,  4M118EA03 ,  4M118EA09 ,  4M118EA17 ,  4M118FA06 ,  4M118FA35 ,  5C024CX03 ,  5C024CY47 ,  5C024GY04 ,  5C024GZ01 ,  5C024HX01 ,  5C024JX21
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)
  • 特開昭63-308959
  • 固体撮像素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-087385   出願人：ソニー株式会社
  • 特開平4-223373

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