特許
J-GLOBAL ID：200903005381667143
プラズマ処理装置の放電開始機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-052733
公開番号（公開出願番号）：特開平7-240298
出願日： 1994年02月24日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】[目的] マイクロ波プラズマ処理装置において、プラズマ生成後にマイクロ波の反射波が小さくなるように調整された状態においても、マイクロ波の印加による放電を確実ならしめる放電開始機構を提供すること。[構成] 放電管20の放電部近傍の外壁に交流高電圧トリガ50の出力端子51を取り付け、マイクロ波の投入印加の直後に放電管20の外壁に交流高電圧を印加する。
請求項（抜粋）：
少なくとも、真空処理室と、マイクロ波を伝送する導波管と、該導波管を貫通して一端は前記真空処理室に挿入され、他端はプラズマ生成用ガスの供給口とされた放電管とからなるプラズマ処理装置において、前記放電管の放電部近傍の外壁に高電圧発生装置の出力端子を近接させて配設し、マイクロ波の印加時に放電が確実に開始されるようにしたことを特徴とするプラズマ処理装置の放電開始機構。
IPC (2件)：
H05H 1/46
, C23F 1/08 101
