放電用容器

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-335119
公開番号（公開出願番号）：特開平9-180627
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】石英、ガラスあるいはSi3 N4 、SiCなどのシリコン化合物からなる放電用容器では、フッ素(F)等が存在するプラズマ中では、耐プラズマ性が低く、プラズマにより表面がエッチングされ、消耗が激しかった。【解決手段】プラズマを内部に発生させる放電用容器1であって、容器壁2の内面の少なくともプラズマに接する表面を、周期律表第2a族元素の単体またはその化合物により形成する。特に、金属、ガラスまたはセラミックスを基体とし、その内面のプラズマと接する表面に、周期律表第2a族元素単体またはその化合物からなる被覆層4を0.001〜1mmの厚みで形成する。

請求項（抜粋）：

内部にプラズマを発生させる放電用容器であって、該容器壁の内面の少なくともプラズマに接する表面が、周期律表第2a族元素の単体またはその化合物からなることを特徴とする放電用容器。

引用特許：

審査官引用 (1件)

放電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-118437 出願人：株式会社ノリタケカンパニーリミテド

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