特許

J-GLOBAL ID：200903005388818350

照明装置、露光装置及び露光方法

発明者： 工藤 祐司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-069954
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269114
出願日： 1999年03月16日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 マスク若しくはウェハ上の照度分布を所望の分布に補正し、ウェハ上の各像高に対する照明光の瞳形状を独立に変更する。【解決手段】 照明光を複数の2次光源とするロッドインテグレータの入射面側であって出射面と共役な位置にフィルタ14を配置する。照明光の開口絞りが小さい場合には、パターン14Aを通過する照明光が支配的になり、パターン14Aの透過率を反映して周辺部よりも中心部が低い傾向を示す分布となる。また、照明光の開口絞りを次第に大きくしていった場合には、パターン14Bを通過する照明光が増加してパターン14Bの透過率分布が影響が次第に大きくなる。フィルタ14において適当なパターン配置をとることにより、照明光の開口絞りの形状に応じてウェハW上の照度分布を適宜変化させることが可能である。

請求項（抜粋）：

光源からの光に基づき多数の光源像を形成するロッド型オプティカルインテグレータと、前記ロッド型オプティカルインテグレータにより形成される前記多数の光源像からの光をそれぞれ集光して、被照射面を照明するリレー光学系と、前記ロッド型オプティカルインテグレータの光源側に配置されて前記多数の光源像での光の強度分布をそれぞれ独立に制御する照明制御手段とを有することを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 514 C ,  H01L 21/30 527

Fターム (7件)：

5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CB05 ,  5F046CB08 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  5F046DA07