特許
J-GLOBAL ID：200903005393139690
電気装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-166019
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003701
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】 アクティブマトリスクアレイにMIM型非線形素子を用いてコストメリットを確保しながら、その印加電圧と電流の関係を経時的に安定させて、表示性能が向上可能な液晶表示パネルを実現すること。【構成】 画素領域101には、走査回路に導電接続する金属Taよりなる第1の金属電極層201と、Ta2O5よりなる陽極酸化膜202と、画素電極203に導電接続するCrよりなる第2の金属電極層204とによってMIM型非線形素子103が構成されており、このTa2O5よりなる陽極酸化膜202を陽極酸化法により形成する工程において、2値以上の定電圧値で陽極酸化を行うことで、多層構造の陽極酸化膜を形成する。
請求項（抜粋）：
第1の金属電極層、および該金属電極層表面に形成された陽極酸化膜、および該陽極酸化膜の表面側に形成された第2の金属電極層とによってなるMIM型非線形素子において、陽極酸化膜を形成する際、定電流で酸化を行う工程、定電圧で酸化を行う工程を、異なる定電圧値において2回以上繰り返して陽極酸化を行うことを特徴とする電気装置の製造方法。
IPC (2件)：
G02F 1/136 510
, H01L 49/02
