特許

J-GLOBAL ID：200903005396107390

ポリシリコン用エッチング剤、該エッチング剤の製造方法及びポリシリコンのエッチング方法

発明者： 田口 敏 ,  根津 秀明
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-161554
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302789
出願日： 1994年07月13日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【構成】 下記(A)〜(D)成分を含有するポリシリコン用エッチング剤。(A)フッ化アンモニウム:3〜35重量%(B)フッ化水素:400〜2000重量ppm(C)過酸化水素:3〜27重量%(D)水:残部【効果】 ポリシリコンに対しては優れたエッチング能(浸食性)を有し、かつ酸化シリコンに対する浸食性が小さく、ポリシリコンに対する選択的浸食性に優れる。

請求項（抜粋）：

下記(A)〜(D)成分を含有するポリシリコン用エッチング剤。(A)フッ化アンモニウム:3〜35重量%(B)フッ化水素:400〜2000重量ppm(C)過酸化水素:3〜27重量%(D)水:残部

IPC (2件)：

H01L 21/308 ,  C08J 7/00 CEQ