特許
J-GLOBAL ID:200903005396575857
半導体装置およびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大菅 義之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-110753
公開番号(公開出願番号):特開平6-326300
出願日: 1993年05月12日
公開日(公表日): 1994年11月25日
要約:
【要約】【目的】 本発明では、ターンオフ時間の短縮を図るようにした従来の構造をそのまま適用しながらも熱などによる破壊が生じることがなく、これまで以上にターンオフ特性を向上させることの可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。【構成】 本発明は、ターンオフ時間短縮用のN+ 型ベース領域13の上方に、電界低下用のN型ベース領域14を形成した後に、このN型ベース領域14の上方に、耐圧確保用のN- 型ベース領域15を形成することで、N- 型ベース領域15とN+ 型ベース領域13との間に、所要のN型ベース領域14を設けて成ることを特徴とする。
請求項(抜粋):
所定不純物を低濃度に含有して成る耐圧確保用の第1ベース領域の下方に、前記所定不純物を高濃度に含有して成るターンオフ時間短縮用の第2ベース領域を有して成る半導体装置において、前記第1ベース領域と前記第2ベース領域との間に、前記所定不純物を中濃度に含有して成る電界低下用の第3ベース領域を設けて成ることを特徴とする半導体装置。
IPC (2件):
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