特許
J-GLOBAL ID:200903005415330640

面圧センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 求馬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-277990
公開番号(公開出願番号):特開2003-083820
出願日: 2001年09月13日
公開日(公表日): 2003年03月19日
要約:
【要約】【課題】 面圧を検出する面圧センサにおいて、高精度に圧力の検出を行うことである。【解決手段】 相手方部材からの力をセンシング部2に伝達する受圧ブロック3を設けるとともに、センシング部2の圧力検出用のゲージ421,422,423,424の形成位置に、受圧ブロック3を載置する台部321,322,323,324を突設せしめる。受圧ブロック3を、相手方部材との当接面積が台部321〜324の平面積よりも広い形状とすることで、相手方部材からの力をゲージ421〜424形成位置に集中せしめ、検出感度を向上する。
請求項(抜粋):
基板上に薄膜状の抵抗体を設けてなり、相手方部材から面圧が印加される積層構造体を有し、前記面圧の大きさに応じて変化する前記抵抗体の電気抵抗値に基づいて面圧を検出する面圧センサであって、前記積層構造体と前記相手方部材との間に該相手方部材から前記積層構造体に面圧を伝達する受圧ブロックを介設せしめ、前記抵抗体の形成位置を含む位置で前記積層構造体の表面に、前記受圧ブロックを載置する台部を突設し、前記受圧ブロックを、前記相手方部材との当接面積が前記台部の平面積よりも広い形状としたことを特徴とする面圧センサ。
IPC (2件):
G01L 1/22 ,  G01L 1/26
FI (2件):
G01L 1/22 M ,  G01L 1/26 A
Fターム (3件):
2F049AA16 ,  2F049BA01 ,  2F049CA07
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-216529
  • 歪検出装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-025842   出願人:松下電器産業株式会社

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