特許
J-GLOBAL ID：200903005417849820
表面顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241098
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079833
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】試料表面と相対するプローブ表面との間に発生する水分等の吸着力を無くし、高精度で安定性の高い表面顕微鏡を容易に提供することにある。【構成】少なくとも試料10、プローブ2を真空中に挿入し、水分等の影響がでない1x10-5Torr以下の真空度に保った状態で表面観察できるような構成とした。【効果】高精度で安定性の高い表面観察の実現、及び、真空中で動作できる従来の観察分析手段と複合化することにより広範囲の観察分析が実現できる。
請求項（抜粋）：
探針を試料に近づけ、該探針に働く微小力を一定に保ちつつ表面情報を得る表面顕微鏡において、少なくとも、該探針、試料を真空槽内に設置し、1x10-5Torr以下の真空で動作させることを特徴とした表面顕微鏡。
引用特許：
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