特許

J-GLOBAL ID：200903005420755314

単結晶試料のカット面検査装置

発明者： 小林 勇二
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-062949
公開番号（公開出願番号）：特開平6-249802
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 正方形状でない単結晶試料に関してその内部の結晶格子面の方位を一定方向に整列する。【構成】 面内回転試料台12を軸線L1のまわりに連続的に面内回転させながら、X線源5からのX線を単結晶試料1のカット面に照射し、X線カウンタ7によって回折X線を検出する。これにより、横軸に面内回転角度をとり、縦軸に回折X線強度をとった座標上に、回折線図形が得られる。この回折線図形に関し、半値幅に相当する2つの面内回転角度位置を測定し、それらに基づいてピーク値の面内回転角度を算出する。単結晶試料1を常にこのピーク値角度位置に合わせれば、単結晶試料1内の結晶格子面の方位を入射X線に対して常に回折条件を満足する一定の方向に整列できる。

請求項（抜粋）：

単結晶試料のカット面の結晶格子面に対する傾斜角度の基準角度からのズレを測定する単結晶試料のカット面検査装置において、単結晶試料内の結晶格子面が入射X線を回折できる一定の方向を向くように単結晶試料を整列する結晶方向整列装置と、整列された単結晶試料にX線を照射し、その単結晶試料をω回転させながらその単結晶試料で回折する回折線を検出し、回折線を検出したときのω回転角度に基づいて結晶格子面の傾斜角度のズレを測定する結晶格子面角度偏差測定装置とを有しており、上記結晶方向整列装置は、X線を放射するX線源と、X線源から放射されたX線の発散を制限してそれを単結晶試料に照射する面内回転用スリットと、単結晶試料で回折したX線を検出して回折線強度信号を出力するX線検出手段と、単結晶試料を面内回転させる面内回転手段と、上記回折線強度信号に基づいて上記面内回転手段の動作を制御する制御装置とを有しており、単結晶試料の面内回転角度を変えていったときにX線検出手段によって検出される回折線強度の変化を示すグラフを面内回転回折線図形と呼ぶとき、上記制御装置は、上記X線検出手段によって検出される単結晶試料からの回折線強度がその面内回転回折線図形における特定値に一致するように単結晶試料の面内回転角度位置を調整することを特徴とする単結晶試料のカット面検査装置。