特許
J-GLOBAL ID：200903005433310052
微分干渉顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-215580
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061718
出願日： 1995年08月24日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 微分干渉像のコントラストを任意に変化させることの可能な微分干渉顕微鏡を提供する。【解決手段】 微分干渉顕微鏡は、被検物体8が鏡面であるときに検光子12に達する反射光が円偏光となるように構成され、検光子12はアナライザ角が可変の偏光ビームスプリッタ12を有し、2次元イメージセンサ14、16は偏光ビームスプリッタ12を透過した光を検出するための第1の2次元イメージセンサ14と、偏光ビームスプリッタ12で反射した光を検出するための第2の2次元イメージセンサ16とを有し、像形成装置17は、第1の2次元イメージセンサ14の出力と前記第2の2次元イメージセンサ16の出力との差に基づいて、偏光ビームスプリッタ12のアナライザ角に応じたコントラストを有する微分干渉像を形成する。
請求項（抜粋）：
光源と、該光源からの光で被検物体を照明するための照明光学系と、被検物体の像を所定の像面に結像するための対物レンズと、前記対物レンズと前記光源との間に配設され前記光源からの光をその偏光成分によって2つの光路に分割するための複屈折プリズムと、前記被検物体からの反射光のうち特定の偏光成分を選択するための検光子と、前記像面に配設され前記検光子を通過した光を受光する2次元イメージセンサと、前記2次元イメージセンサから出力される信号から画像を形成する像形成装置とを備えた微分干渉顕微鏡において、前記微分干渉顕微鏡は、前記被検物体が鏡面であるときに前記検光子に達する反射光が円偏光となるように構成され、前記検光子はアナライザ角が可変の偏光ビームスプリッタを有し、前記2次元イメージセンサは前記偏光ビームスプリッタを透過した光を検出するための第1の2次元イメージセンサと、前記偏光ビームスプリッタで反射した光を検出するための第2の2次元イメージセンサとを有し、前記像形成装置は、前記第1の2次元イメージセンサの出力と前記第2の2次元イメージセンサの出力との差に基づいて、前記偏光ビームスプリッタのアナライザ角に応じたコントラストを有する微分干渉像を形成することを特徴とする微分干渉顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 21/00
, G01N 21/88 E
