特許
J-GLOBAL ID：200903005456647046
スパツタ用治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-281066
公開番号（公開出願番号）：特開平5-117839
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】カラーパターンに傷を生じさせることなく、かつ、透明電極層のパターンの精度を向上させる。【構成】開口部2aが形成された主プレート2と、内部に多数の磁石6が設けられる副プレート5と、カラーパターン10a、10bが形成されるガラス基板9と、カラーパターン10a、10bに対向するように開口部8a、8bが形成されるマスク8とを備え、主プレート2と副プレート5との間にガラス基板9とマスク8を固定する治具であって、マスク8の材質は、強磁性材料でかつガラスと熱膨張率がほぼ等しい合金からなる。
請求項（抜粋）：
開口部が形成された主プレートと、内部に多数の磁石が設けられる副プレートと、カラーパターンが形成されるガラス基板と、前記カラーパターンに対向するように開口部が形成されるマスクとを備え、前記主プレートと副プレートとの間に前記ガラス基板およびマスクを固定する治具であって、マスクの材質は、強磁性材料でかつガラスと熱膨張率がほぼ等しい合金からなることを特徴とするスパッタ用治具。
IPC (2件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (10件)
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