特許
J-GLOBAL ID：200903005463654686
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-090056
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300774
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 使用するシリコン単結晶の面方位や抵抗素子の配置に制約がなく、しかも、高温で安定に動作する半導体ゲージ型の加速度センサを提供する。【構成】 加速度が加わると、重り部の質量に加速度が作用して慣性力が発生する。慣性力は、厚肉剛体部を介して薄肉部に伝達されたわみを生じさせる。たわみによって薄肉部に応力が発生する。その応力によるピエゾ抵抗効果によって各ピエゾ抵抗素子の抵抗値が変化する。4つのピエゾ抵抗素子はホイートストンブリッジを形成している。よって、ブリッジの出力電位差にもとづいて加速度が検出される。ここで、ピエゾ抵抗素子として、高濃度に不純物がドープされた多結晶シリコンが用いられ、各ピエゾ抵抗素子のピエゾ抵抗係数は結晶軸方向に依存しない。また、ピエゾ抵抗素子は、絶縁膜でシリコン単結晶と絶縁される。
請求項（抜粋）：
少なくとも一方の面が平滑であって、外周部に形成された厚肉固定部、中央部に形成された厚肉剛体部、および厚肉固定部と厚肉剛体部との間の環状の薄肉部を有するシリコン単結晶板と、このシリコン単結晶板の平滑な面における前記薄肉部の上部に電気的な絶縁膜を介して形成された不純物ドープ多結晶シリコンの複数のピエゾ抵抗素子と、前記厚肉剛体部に接合され、発生した加速度による力を厚肉剛体部を介して前記薄肉部に伝達する重り部とを備えた加速度センサ。
IPC (2件)：
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