特許
J-GLOBAL ID:200903005464991180
鏡面研磨液及び鏡面研磨加工方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
酒井 一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-094429
公開番号(公開出願番号):特開平5-285827
出願日: 1992年04月14日
公開日(公表日): 1993年11月02日
要約:
【要約】【構成】 ポリオキシアルキレン化合物を含む水溶液からなることを特徴とする鏡面研磨液及び被研磨物を研磨加工する方法において、前記鏡面研磨液を滴下しながら、鏡面研磨することを特徴とする鏡面研磨加工方法。【効果】 本発明の鏡面研磨液は、ポリオキシアルキレン化合物を必須成分として含有するので、有機結晶等に用いる場合には、機械化学的反応を誘起して結晶の表面をわずかに溶解しながら研磨することができる。従って、例えば有機非線形光学結晶等の研磨に用いることにより表面粗さ10〜100Åの鏡面加工を容易に行うことができ、レーザー変換効率の高い有機非線形光学素子を製造することができる。また本発明の鏡面研磨方法は、従来困難である有機非線形光学結晶等の軟脆弱材料においても鏡面加工を容易に行うことができる。
請求項(抜粋):
ポリオキシアルキレン化合物を含む水溶液からなることを特徴とする鏡面研磨液。
IPC (3件):
B24B 37/00
, C09K 3/14
, G02F 1/35 505
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