特許
J-GLOBAL ID：200903005466212790
ブリッジ式センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295542
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148015
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】【目的】 歪検出用の拡散抵抗の温度変化及び経時変化の影響を抑制する。【構成】 厚膜抵抗Rtと直列に抵抗R5を挿入する。R5は、歪検出用の抵抗R1〜R4と同様に、半導体基板上に不純物拡散により形成する。抵抗R5の値は、抵抗Rtの値に対し十分大きくする。抵抗R1〜R4の値が温度又は経時変化したときに生じるブリッジ回路36の出力の変化が、抵抗R5によって抑制される。
請求項（抜粋）：
互いにほぼ等しい温度係数を有しかつ加速度等の印加に伴う歪により抵抗値が変化する所定個数の歪検出用抵抗と、歪検出用抵抗と異なる温度係数を有し抵抗値の初期調整が可能な調整用抵抗と、を備え、歪検出用抵抗がブリッジ接続されかつ当該歪検出用抵抗のうち少なくとも1個に調整用抵抗が並列接続された回路構成を有するブリッジ式センサにおいて、歪検出用抵抗とほぼ等しい温度係数を有し、調整用抵抗と直列接続される温度補償用抵抗を備えることを特徴とするブリッジ式センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
