特許
J-GLOBAL ID：200903005469608406
ドライエッチングの終点検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鳥居 洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-096962
公開番号（公開出願番号）：特開平9-283497
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、励起状態、基底状態に関わらず、エッチングの終点検出ができる終点検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】 この発明のドライエッチングの終点検出方法は、エッチングチャンバー1内に導入された光源6からのモニター光を分光器7で波長分解し、分解された所定の波長の光を光検出器8で検出し、その光の吸光度によりドライエッチングの終点を検出する。
請求項（抜粋）：
チャンバー内に導入されたモニター光の所定の波長の光を光検出手段で検出し、その光の吸光度によりドライエッチングの終点を検出することを特徴とするドライエッチングの終点検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/302 E
, C23F 4/00 F
