特許

J-GLOBAL ID：200903005472321290

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者： 沢辺 賢 ,  中村 三佳 ,  立木 秀康 ,  立木 繁雄
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-234994
公開番号（公開出願番号）：特開平8-095245
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】 レジスト形状が良好で、剥離片が微細で、金属表面との密着性、耐めっき性、可とう性等に優れた感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供する。【構成】 (A)カルボキシル基含有ビニル単量体、アルキルフェノキシポリアルキレングリコール(メタ)アクリレート類及び他のビニル単量体を共重合して得た高分子化合物であって、重量平均分子量120,000〜300,000の高分子化合物(A1)と重量平均分子量10,000〜100,000の高分子化合物(A2)を少なくとも1種ずつ含む混合物、(B)エチレン性不飽和化合物並びに(C)光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物と前記組成物の層を支持体上に積層してなる感光性エレメント。

請求項（抜粋）：

(A)(a)カルボキシル基を有するビニル単量体15〜40重量部、(b)一般式(I)【化1】〔式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、R2は炭素原子数1〜5のアルキレン基を表し、R3は水素原子、炭素原子数1〜10のアルキル基又はハロゲン原子を表し、nは1〜23の整数である〕で示される単量体5〜85重量部及び(c)上記(a)及び(b)成分以外のビニル単量体0〜80重量部を、(a)、(b)及び(c)成分の総量が100重量部となる量で共重合して得られる高分子化合物であって、その重量平均分子量が120,000〜300,000の高分子化合物(A1)とその重量平均分子量が10,000〜100,000の高分子化合物(A2)を少なくとも1種ずつ含有する混合物、(B)エチレン性不飽和化合物並びに(C)光開始剤を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18