特許

J-GLOBAL ID：200903005475151396

偏向器及びその製造方法並びに電子ビーム装置

発明者： 遠藤 康浩 ,  本荘 一郎
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 北野 好人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-193763
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040093
出願日： 1997年07月18日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】 電子ビームに電界を加えて電子ビームを偏向する偏向器及びその製造方法並びに電子ビーム装置に関し、小型でしかも偏向角が大きい偏向器及びその製造方法並びにその偏向器を用いた電子ビーム装置を提供する。【解決手段】 複数の基板12、14、16、18、20を絶縁膜22、24、26、28を介して貼り合わせてなり、電子ビームを通過するためのビーム通過孔30が、基板12、14、16、18、20の貼り合わせ面に対して平行に開口され、複数の基板12、14、16、18、20に所定の電圧を印加することによりビーム通過孔30を通過する電子ビームを偏向する。

請求項（抜粋）：

複数の基板を絶縁膜を介して貼り合わせてなり、電子ビームを通過するためのビーム通過孔が、前記基板の貼り合わせ面に対して平行に開口された偏向器であって、前記複数の基板に所定の電圧を印加することにより前記ビーム通過孔を通過する前記電子ビームを偏向することを特徴とする偏向器。

IPC (2件)：

H01J 37/147 ,  H01J 9/18

FI (2件)：

H01J 37/147 E ,  H01J 9/18 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-174510
  
• 特開平4-179116
  
• 四重極電極の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-233055   出願人：日本原子力研究所, 住友電気工業株式会社