特許
J-GLOBAL ID：200903005482886121
表面実装部品半田付外観検査方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村上 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-180196
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094429
出願日： 1991年06月24日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 狭小スペースにおける半田接合部の外観検査を光学系により容易に実現することを目的とする。【構成】 ハロゲン照明8とカメラ9とファイバースコープ10を一体に取付けた光学系のシステムを用いて外観検査を行うものであり、即ち、ファイバースコープ10の先端より外観検査の対象であるフリップチップ1のバンプ部2へハロゲンが照射され、その反射光をファイバースコープ10の先端より取り込み画像処理にて良否の判定を行うようにしたものである。【効果】 狭い部分の画像取り込みが出来るようになったため、光学系による外観検査が可能となる。これにより検査判定基準のバラツキが少なくなり、品質が均一化する。
請求項（抜粋）：
表面実装されたプリップチップのバンプ部など隠れた接合部の外観検査において、画像取り込みの手段としてハロゲン照明とカメラとファイバースコープとを一体に取付けた光学系のシステムを用い、ファイバースコープの先端より外観検査の対象物へハロゲンを照射し、その反射光をファイバースコープの先端よりカメラに取り込み、その画像処理により良否の判定を行うようにしたことを特徴とする表面実装部品半田付外観検査方法。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01R 31/02
, H01L 21/66
, H05K 3/34
