特許

J-GLOBAL ID：200903005485839167

試料表面の測定方法と装置及び試料表面の微細加工方法と装置

発明者： 楠本 修 ,  横山 和夫 ,  柴田 元司 ,  任田 隆夫
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230871
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074899
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 試料の微小領域からの発光を検出するためのプローブと微小電極を一体化したプローブを用いて、試料表面の微小領域に電流を流しながら前記微小領域からの発光を検出し、試料表面の特性を評価または微細加工する。【構成】 先端を鋭利化した光ファイバ(1,2)の表面を導電性かつ透光性を有する物質、例えばSn添加In2 O3 (3)で被覆する。試料表面の微小領域に光を検出または照射するプローブと電流を流すプローブを一体化したプローブを用いることにより、電子のトンネル現象に伴う発光の測定、レーザ光を照射したときにプローブと試料の間に流れる電流の測定を効率よく行う。また光電気化学反応を用いた微細加工において、試料全面ではなく電流を流す領域のみに光を照射し、電流を流さない領域の表面の荒れを防ぐ。

請求項（抜粋）：

試料の微小領域からの発光を検出するためのプローブと微小電極を一体化したプローブを用いて、試料表面の微小領域に電流を流しながら前記微小領域からの発光を検出し、試料表面の特性を評価する試料表面の測定方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-077605
  
• 特開平4-077605
  
• 特開平4-072716
  
• 特開平2-173278